1、光學(xué)照明系統(tǒng):可調(diào)節(jié)LED冷光源,使工件表面照明均勻,提高了測(cè)量的高精度和可靠性。 2、測(cè)量精度:高精度的SONY彩色CCD攝像機(jī)、光學(xué)透鏡及LED同步底光源的光路的同軸性都精確校準(zhǔn)。 3、工作臺(tái):采用花崗巖的機(jī)座,帶平板玻璃可移動(dòng)的高剛性、表面陽(yáng)極化的雙層十字特種金屬工作臺(tái),Z軸*獨(dú)立,運(yùn)動(dòng)互不干擾,所有軸運(yùn)動(dòng)均由高精度的直線(xiàn)導(dǎo)軌進(jìn)行。 4、導(dǎo)軌方式:采用進(jìn)口的具有*耐磨性的特種鋼制成的高精度直線(xiàn)導(dǎo)軌,保證了軸向直線(xiàn)度和垂直度。 5、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng):采用高載荷的4V無(wú)牙精密絲杠傳動(dòng)裝置(技術(shù)),確保系統(tǒng)傳統(tǒng)更快捷,更精準(zhǔn)。 6、Z軸采用平衡裝置,提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。 7、長(zhǎng)度計(jì)量系統(tǒng):光柵尺不直接近被測(cè)工件,遵循了阿貝誤差原理,減小了系統(tǒng)誤差。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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