電容位移傳感器探頭
（標準規(guī)格的電容探頭以達到納米級別的分辨率并且有非常好的穩(wěn)定性）
電容位移傳感器的應(yīng)用
顯微鏡聚焦 ?鏡頭的對準 ?測量零件的外形 ?測量零件的傾斜 ?測量半導(dǎo)體硅片的厚度 ?測量壓電平臺的位移 ?測量振動 ?測量電腦硬盤運行和厚度 ?測量剎車盤的翹曲和厚度 ?測量金屬板的厚度 ?測量光伏晶圓
MTI 標準探頭的特點 ● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130oC -- 200oC (也有高溫探頭，在下一頁有介紹) ● 精度: 高于滿量程的±0.02% （當(dāng)探頭和放大器經(jīng)過和被測物校準后） ● 標準放大器濾波帶寬: 500Hz ● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel ● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬 Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程 ● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭) ● 帶線纜的探頭，同軸電纜長度: 2.4m (可選延長線纜.) 型號 ASP-1-ILR 量程 2擴展量程 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭長度L 最小范圍 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 9.53 µm 1.270 ASP-2-ILR 50.8 10 5.08 1.55 2.84 9.53 2.540 ASP-5-ILR 127.0 10 12.70 2.49 3.96 9.53 6.350 ASP-10-ILR 254.0 10 25.40 3.53 5.54 9.53 12.700 ASP-20-ILR 508.0 4 50.80 5.00 7.92 9.53 25.400 ASP-50-ILR 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 9.53 63.500 ASP-100-ILR 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 9.53 127.000 ASP-200-ILR 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 9.53 254.000 型號 ASP-25M-CTR 量程 2擴展范圍 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭長度L 最小范圍 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 9.53 mm 25.40 µm 1.270 ASP-50M-CTR 50.8 10 5.08 1.55 9.53 25.40 2.540 ASP-125M-CTR 127.0 10 12.70 2.49 9.53 25.40 6.350 ASP-250M-CTR 254.0 10 25.40 3.53 9.53 25.40 12.700 ASP-500M-CTR 508.0 4 50.80 5.00 11.13 25.40 25.400 ASP-1250M-CTR 1270.0 3 127.00 7.98 15.88 25.40 63.500 ASP-2500M-CTR 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 25.40 127.000 產(chǎn)品型號 ASP-1-ILA 量程 2擴展范圍 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭長度L 最小范圍 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 9.53 µm 1.270 ASP-2-ILA 50.8 10 5.08 1.55 2.84 9.53 2.540 ASP-5-ILA 127.0 10 12.70 2.49 3.96 9.53 6.350 ASP-10-ILA 254.0 10 25.40 3.53 5.54 9.53 12.700 ASP-20-ILA 508.0 4 50.80 5.00 7.92 9.53 25.400 ASP-50-ILA 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 9.53 63.500 ASP-100-ILA 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 9.53 127.000 ASP-200-ILA 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 9.53 254.000 型號 ASP-0.5-CTA 量程 2擴展范圍 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭長度L 最小范圍 µm 12.7 20 µm/V 1.27 mm 0.74 mm 6.35 mm 63.50 µm 0.635 ASP-25M-CTA 25.4 10 2.54 1.09 6.35 63.50 1.270 ASP-50M-CTA 50.8 10 5.08 1.55 6.35 63.50 2.540 ASP-125M-CTA 127.0 10 12.70 2.49 6.35 63.50 6.350 ASP-250M-CTA 254.0 10 25.40 3.53 6.35 63.50 12.700 ASP-500M-CTA 508.0 5 50.80 5.00 11.10 63.50 25.400 ASP-1250M-CTA 1270.0 3 127.00 7.98 15.88 63.50 63.500 ASP-2500M-CTA 2540.0 2 254.00 11.2,5 25.40 63.50 127.000 ASP-5000M-CTA 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 101.60 254.000 ASP-500-CTA 12700.0 1 1270.00 25.22 82.55 101.60 635.000 型號 ASP-1-PCA 量程 2擴展范圍 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭長度L 最小范圍 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 2.54 µm 1.270 ASP-2-PCA 50.8 10 5.08 1.55 2.84 2.54 2.540 ASP-5-PCA 127.0 10 12.70 2.49 3.96 2.54 6.350 ASP-10-PCA 254.0 10 25.40 3.53 5.54 2.54 12.700 ASP-20-PCA 508.0 4 50.80 4.98 7.92 2.54 25.400 ASP-50-PCA 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 2.54 63.500 ASP-100-PCA 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 2.54 127.000 508.0 型號 ASP-1-PCR 量程 2擴展范圍 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭直徑L 最小范圍 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 2.54 µm 1.270 ASP-2-PCR 50.8 10 5.08 1.55 2.84 2.54 2.540 ASP-5-PCR 127.0 10 12.70 2.49 3.96 2.54 6.350 ASP-10-PCR 254.0 10 25.40 3.53 5.54 2.54 12.700 ASP-,20-PCR 4 50.80 4.98 7.92 2.54 25.400 ASP-50-PCR 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 2.54 63.500 ASP-100-PCR 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 2.54 127.000 ASP-200-PCR 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 5.08 254.000 ● 連接頭的使用溫度范圍: -65oC -- 85oC
● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%（在沒有經(jīng)過校準的情況下互換）
● 材料: 不銹鋼結(jié)構(gòu),內(nèi)部沒有電子元器件
