中圖儀器激光干涉儀器設(shè)備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強(qiáng)，降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測(cè)量大距離用。

系統(tǒng)組件

1、激光主機(jī)

精準(zhǔn)——激光頻率穩(wěn)定度高，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。

SJ6800激光主機(jī)由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口，可與計(jì)算機(jī)高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號(hào)輸入和正交信號(hào)輸出，以及其它擴(kuò)展應(yīng)用。

2、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元

可靠——對(duì)空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進(jìn)行自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償。

激光干涉儀是以激光波長為載體，測(cè)量過程中環(huán)境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會(huì)影響激光波長。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可實(shí)時(shí)檢測(cè)環(huán)境條件的變化，同事進(jìn)行激光波長補(bǔ)償。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可連接三個(gè)材料溫度探頭，監(jiān)測(cè)被測(cè)對(duì)象其材料的溫度變化，同事進(jìn)行材料的熱膨脹補(bǔ)償。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元采用低功耗設(shè)計(jì)，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現(xiàn)場(chǎng)使用，EC20環(huán)境補(bǔ)償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標(biāo)準(zhǔn)線長5m，亦可定制線長。

3、三腳架及便攜箱

中圖儀器激光干涉儀器設(shè)備具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。測(cè)量分辨率0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。

部分技術(shù)指標(biāo)

線性測(cè)量

測(cè)量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃

測(cè)量分辨力：1nm

測(cè)量最大速度：4m/s

角度測(cè)量

軸向量程：(0~15)m

測(cè)量范圍：±10°

測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)

測(cè)量分辨力：0.1″

平面度測(cè)量

軸向量程：(0~15)m

測(cè)量范圍：±1.5mm

測(cè)量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)

測(cè)量分辨力：0.1μm