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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>激光測量儀>>激光干涉儀>> SJ6000納米精度激光干涉儀

納米精度激光干涉儀

參  考  價: 280000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:SJ6000

品       牌:中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

更新時間:2025-03-08 15:17:09瀏覽次數(shù):962次

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羅健

經(jīng)理
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產(chǎn)地 國產(chǎn) 加工定制
SJ6000納米精度激光干涉儀軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表,該表涵蓋了各個測量點(diǎn)的補(bǔ)償值,運(yùn)動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動軸的位置誤差,精確的補(bǔ)償,可以有效地降低運(yùn)動軸的位置誤差。

SJ6000納米精度激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器,采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。在計量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。

530.jpg

產(chǎn)品功能

1、可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

2、可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

3、可實現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量;

4、可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);

5、可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

6、具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

7、支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

機(jī)床.jpg

SJ6000納米精度激光干涉儀檢測集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。


產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖800.jpg

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。


線性測量配置及使用方法

線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。


SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表,該表涵蓋了各個測量點(diǎn)的補(bǔ)償值,運(yùn)動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動軸的位置誤差,精確的補(bǔ)償,可以有效地降低運(yùn)動軸的位置誤差。

線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時間的目標(biāo)采集兩種方式,普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式,即:被測運(yùn)動軸需設(shè)定若干個等距的定位點(diǎn),當(dāng)運(yùn)動軸移動到設(shè)定的定位點(diǎn)時,需設(shè)置停留時間,以供SJ6000測量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。


線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。

image.png


技術(shù)規(guī)格

主機(jī)穩(wěn)頻精度0.05ppm
動態(tài)采集頻率50 kHz
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
環(huán)境補(bǔ)償單元空氣溫度傳感器±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
材料溫度傳感器±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量
線性測量距離(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
測量分辨力1nm
測量速度4m/s


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