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P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺 產品特點
XY 軸行程 18μm/ 軸
開 / 閉環(huán)可選
承載可達 0.5kg
真空版本可選
技術參數(shù)：
型號 | S-閉環(huán) K-開環(huán) | P63.XY18S | P63.XY18K | 單位 |
運動自由度 | X、Y | X、Y | ||
驅動控制 | 2路驅動，2路傳感 | 2路驅動 | ||
標稱行程范圍（0 ~+120 V） | 16/軸 | 16/軸 | μm±10% | |
Max.行程范圍（0~+150 V） | 18/軸 | 18/軸 | μm±10% | |
傳感器類型 | SGS | - | ||
閉/開環(huán)分辨率 | 0.6 | 0.2 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.3 | - | %F.S. | |
閉環(huán)重復定位精度 | 0.25 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 | ≤15 | ≤15 | μrad | |
空載諧振頻率 | 2 | 2 | KHz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時間 | 8 | 0.5 | ms±20% | |
承載能力 | 0.5 | 0.5 | kg | |
靜電容量 | 1.8 | 1.8 | μF±20% | |
工作溫度范圍 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材質 | 鋁 | 鋁 | ||
出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺 尺寸圖
