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ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS型

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更新時(shí)間：2023-06-14 09:27:52瀏覽次數(shù)：126次

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ALICAT截止閥質(zhì)量流量控制器21VS型美國(guó)ALICAT21VS系列帶截止閥抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)

詳細(xì)介紹

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS型

美國(guó)ALICAT 21VS系列帶截止閥抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。Alicat的21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測(cè)量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度。此外，21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，如真空鍍膜和濺射過(guò)程等。該集成氣動(dòng)切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態(tài)下其氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。

應(yīng)用及案例

● 大學(xué)/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 汽車制造
● 計(jì)量
● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 帶氣動(dòng)截止閥，泄漏率低
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100:1
● 響應(yīng)時(shí)間快僅需100ms(可調(diào))
● 內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
性能指標(biāo)