高性能探測(cè)器:搭配高性能探測(cè)器,在檢測(cè)多層合金、上下元素重復(fù)鍍層及滲層時(shí)更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定
變焦裝置及
位置補(bǔ)償算法:可對(duì)各種異性凹槽進(jìn)行檢測(cè),凹槽深度測(cè)量范圍可達(dá)0-30mm
自主研發(fā)EFP算法:Li(3)-U(92)元素的涂鍍層,多層多元素,甚至有同種元素在不同層也可精確測(cè)量
高集成光路系統(tǒng):搭配微聚焦一體的高集成垂直光路交換裝置
的解譜技術(shù):減少能量相近元素的干擾,降低檢出限