全新上照式設(shè)計(jì),保留原有四焦技術(shù)同時(shí),搭載全自動(dòng)大行程移動(dòng)平臺(tái)和影像識(shí)別功能,既能檢測(cè)納米級(jí)厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚,也可滿(mǎn)足微區(qū)RoHS檢測(cè)及全元素成分分析,無(wú)論是一個(gè)還是一批樣測(cè)試都能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)、快速、高效
可編程自動(dòng)平臺(tái)可達(dá)600mm*600mm*30mm(高度可定制60mm)