真空零部件THERMOCERA磁控管陰極MAG系列

真空零部件THERMOCERA磁控管陰極MAG系列

真空零部件，磁控管陰極MAG系列，LTE有機沉積源，真空引入端子，SiC3涂層碳零件

產品介紹

磁控管陰極MAG系列

磁控管陰極有高真空和出色的可維護性

采用夾緊環(huán) 輕松更換目標

Φ2英寸～Φ4英寸尺寸

磁性材料、煙囪口、注氣、百葉窗等豐富的選擇

RF、DC、脈沖 DC 組合高性能磁控管陰極，非常適合對現(xiàn)有設備進行添加、擴展和修改

主要規(guī)格

RF、DC、脈沖DC組合使用

水冷：4?/min,0.35Mpa

目標厚度 1/16" 至 1/4"

外殼材質SUS304

目標夾具材料 Al, 或 SUS304

波紋管（柔性頭型）SUS316

絕緣聚醚醚酮/聚四氟乙烯

密封材料 氟橡膠

高強度磁體包 NiFe；環(huán)氧樹脂封裝

LTE有機沉積源

有機薄膜材料蒸發(fā)源

低溫（80 至 600°C）下具有優(yōu)異可控性和響應性的蒸發(fā)源

穩(wěn)定的沉積速率

材料填充和坩堝更換簡便

主要規(guī)格

坩堝材質：石英（標準）、氧化鋁

坩堝體積：1cc（LTE1）、5cc（LTE5）

外殼：SUS304

頂板： 氧化鋁

溫度傳感器：K型熱電偶

固定方式：M6固定支架（或CF、ISO法蘭）

真空引入端子

SiC3涂層碳零件

SiC涂層材料具有長壽命、優(yōu)異的附著力和均勻性

SiC（立方碳化硅）涂層碳零件，具有高純度、高耐熱性和導熱性等優(yōu)異的基本性能。

特征

交貨快?。ㄊ盏接唵魏笾辽?/span> 11 周）

膜厚均勻性 最小誤差±5μm至最大誤差±10μm

即使在精細形狀上也能獲得均勻的涂層：縱橫比 5:1Φ3mm x 深度15mm 盲孔也可鍍膜

優(yōu)異的耐熱性、耐腐蝕性、耐磨性

涂層厚度：最薄20μm～最厚120μm

用法

外延生長用晶圓

單晶拉制裝置零件

MOCVD 基座

晶圓托盤

持有者

碳化硅涂層加熱器

坩堝等